光致产酸剂（Photo Acid Generator，简称PAG）是一类在光、射线、等离子体等辐射下能分解生成特定酸的化合物。作为光刻胶的核心组分，PAG在曝光后产生的酸可催化酸敏树脂发生分解或交联反应，使曝光区与非曝光区在显影液中产生溶解性差异，从而形成精细图案。
我们的产品系列
我司PAG产品涵盖覆盖重氮类、肟磺酸酯类、鎓盐类三大主流PAG体系，可适配不同波段、不同精度的光刻胶配方开发与生产需求。
🔹 重氮类PAG（双磺酰重氮甲烷类）
非离子型PAG，在248nm（KrF）波段具有优异的光敏特性，产酸效率高，热稳定性好。
产品结构 | 规格 |
纯度＞99.5% 单金杂＜50ppb |
🔹肟磺酸酯类PAG
非离子型PAG，具有优异的有机溶剂溶解性和光敏性，适用于深紫外至G线宽谱段应用。
产品结构 | 规格 |
纯度99% 单金杂＜50ppb | |
纯度＞98% 单金杂＜100ppb | |
光致产酸剂中间体 纯度＞98% |
🔹鎓盐类PAG
离子型PAG，热稳定性高（分解温度可达350℃左右），可通过阴离子选择实现从弱酸到强酸的精准调控。
阳离子 | 阴离子 | 规格 |
纯度＞99% 单金杂＜50ppb | ||
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品质承诺
✔ 纯度 ≥ 99.5% ---- 确保光刻胶配方的一致性与可靠性。
✔ 单金属杂质 ≤ 50 ppb或更低 ---- 满足半导体级应用对金属离子污染的严苛要求。
✔ 严格品控体系 ---- 从合成到纯化全程管控，批次间稳定性优异。
我们的核心优势
●研发与生产一体
公司配备高标准洁净实验室与配套生产基地，从克级小试到百公斤级量产，具备完整的工艺开发与放大能力，可灵活满足客户从样品测试到批量供货的各阶段需求。
●批次间高度稳定
依托严格的标准化生产流程与全过程品控体系，确保每批次产品在纯度、金杂指标及性能表现上保持高度一致，为客户光刻胶配方的稳定性提供坚实保障。
●灵活定制服务
可根据客户特定应用场景，提供结构修饰、纯度升级、溶剂定制等差异化服务，快速响应个性化需求，助力客户加速产品开发进程。
●快速交付响应
备有常用产品库存，小批量订单可实现快速发货；量产订单依托自有产能，交付周期可控，为您的供应链安全保驾护航。
本资料仅为产品介绍，具体参数以产品COA为准。如需详细技术资料或样品，欢迎垂询。
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