| 英文名称 | difluoro-(3-hydroxy-adamantan-1-ylmethoxycarbonyl)methanesulfonic acid-(4-tert-butylphenyl)diphenylsulfonium salt |
|---|---|
| 中文名称 | 电子级 二氟-(3-羟基-金刚烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍盐 |
| CAS号 | 2803313-27-9 |
| 产品编号 | YH68174 |
| 分子式 | C22H23S.C13H17F2O6S |
| 分子量 | 658.82 |
| 英文名称 | difluoro-(3-hydroxy-adamantan-1-ylmethoxycarbonyl)methanesulfonic acid-(4-tert-butylphenyl)diphenylsulfonium salt |
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| 中文名称 | 电子级 二氟-(3-羟基-金刚烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍盐 |
| CAS号 | 2803313-27-9 |
| 产品编号 | YH68174 |
| 分子式 | C22H23S.C13H17F2O6S |
| 分子量 | 658.82 |
电子级二氟-(3-羟基-金刚烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍盐是一种高效光酸生成剂，专为高精度光刻工艺设计。该化合物具有优异的光敏性和化学稳定性，能够在深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻工艺中提供卓越的性能。其独特的分子结构，结合金刚烷基与锍盐功能团，确保高效的光反应与材料稳定性，适用于先进半导体与微纳制造工艺。
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【物理性质】
基本性质
（1）化学名称：二氟-(3-羟基-金刚烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍盐。
（2）分子式：C35H40F2O6S2
（3）分子量：658.82 g/mol
外观与溶解性
（1）外观：白色或浅黄色结晶粉末。
（2）溶解性：易溶于常见有机溶剂，如甲醇、乙腈和丙酮，溶解性能优异。
热稳定性与纯度
（1）热稳定性：在200℃以下保持良好的化学稳定性。
（2）纯度：≥99.9%，符合电子级化学品要求，适配先进制造工艺。
【应用领域】
光刻胶材料
（1）作为DUV和EUV光刻胶的光酸生成剂，提高光刻分辨率和加工精度。
（2）适用于先进光刻工艺，助力高端芯片制造。
半导体制造
（1）在晶圆加工中提供高效的光敏反应，支持高精度的图形转移。
（2）适用于7nm及以下先进制程工艺。
光电子与显示技术
（1）支持高分辨率显示器制造的光刻需求，优化图形精度。
（2）应用于光电子器件生产，提升器件性能与可靠性。
