| 英文名称 | Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate |
|---|---|
| 中文名称 | 电子级 双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸 |
| CAS号 | 194999-85-4 |
| 产品编号 | YH68175 |
| 分子式 | C24H26F9IO3S |
| 分子量 | 692.414 |
| Solubility | PGMEA: ~40% |
| 英文名称 | Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium perfluoro-1-butanesulfonate |
|---|---|
| 中文名称 | 电子级 双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸 |
| CAS号 | 194999-85-4 |
| 产品编号 | YH68175 |
| 分子式 | C24H26F9IO3S |
| 分子量 | 692.414 |
| Solubility | PGMEA: ~40% |
电子级双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是一种高纯度光敏化合物，广泛应用于先进微电子和光刻材料中。其结构中含有稳定的碘鎓阳离子和全氟丁基磺酸阴离子，赋予了其优异的光敏性和化学稳定性。该产品主要用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻胶，助力高精度光刻图形的生成，适用于半导体和微纳电子制造的先进工艺。
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【物理性质】
基本性质
（1）化学名称：双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。
（2）分子式：C24H26F9IO3S
（3）分子量：692.414 g/mol
外观与溶解性
（1）外观：白色至淡黄色粉末或结晶体。
（2）溶解性：可溶于常见有机溶剂，如甲醇、乙腈和丙酮，微溶于水。
热稳定性与纯度
（1）热稳定性：在200℃以下保持化学稳定性。
（2）纯度：≥99.9%，符合电子级材料的质量要求。
【应用领域】
光刻胶材料
（1）作为深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻胶中的光酸生成剂，提高光刻分辨率和加工精度。
（2）用于高端芯片制造中，支持先进工艺节点的生产。
微电子制造
（1）在晶圆加工环节提供高效的光敏功能，帮助实现高分辨率的图形转移。
（2）适用于多层膜结构和微纳器件的制作。
显示与光电应用
（1）支持高分辨率显示器单元的光刻工艺，提升显示性能。
（2）应用于光电子器件制造，提高器件性能和可靠性。
