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电子级 三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐

Triphenylsulfonium p-toluenesulfonate

产品编号 CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 纯度 外观
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英文名称 Triphenylsulfonium p-toluenesulfonate
中文名称电子级 三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐
CAS号13891-29-7
产品编号YH68703
分子式C25H22O3S2
分子量434.57

电子级三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐是一种高纯度、有机硫化物盐类化合物,具有优异的光敏特性和化学稳定性,广泛应用于微电子制造领域。该产品在光刻胶和光敏材料中作为关键添加剂,可显著提高光敏性能和工艺稳定性,适用于先进半导体加工和显示器制造工艺。其电子级纯度保证了产品在高精度电子设备中的可靠性。

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【物理性质】

基本性质

1)化学名称:三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐

2)分子式:C25H22O3S2

3)分子量:434.57 g/mol

外观与溶解性

1)外观:白色至淡黄色晶体粉末。

2)溶解性:易溶于常见极性溶剂,如甲醇、乙腈等。

热稳定性与纯度

1)热稳定性:耐高温,分解温度高于200℃

2)纯度:≥99.5%,杂质含量极低,满足电子级工艺需求。

【应用领域】

光刻胶制造

1)作为光敏剂用于正型和负型光刻胶,提高光刻胶的光解速率和分辨率。

2)支持深紫外光(DUV)和极紫外光(EUV)技术的精密光刻工艺。

电子材料添加剂

1)用于制造高性能光敏涂层和掩膜材料。

2)在印刷电路板和显示器薄膜晶体管(TFT)工艺中优化性能表现。

其他高端应用

1)适用于高分辨率显示器、柔性电子设备和光电传感器领域。

2)在化学合成中作为光引发剂或催化剂,提高反应效率和选择性。


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