英文名称 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名称 | 电子级 双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐 |
CAS号 | 0-0-YH84024 |
产品编号 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
英文名称 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名称 | 电子级 双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐 |
CAS号 | 0-0-YH84024 |
产品编号 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
电子级双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐是一种高纯度、特殊设计的有机化学品,广泛应用于半导体制造和光刻工艺中。作为一种具有强烈电负性的化合物,双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐可以作为高效的光酸生成剂,适用于先进的光刻胶配方。该化合物以其优异的光敏性能和化学稳定性,在微电子领域中发挥着至关重要的作用,特别是在高精度图案转移和微结构制造中。
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【基本性质】
化学名称:双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐
英文名称: BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride
分子式:C20H26ClI
分子量:428.08
外观:黄色至橙色固体
溶解性:可溶于有机溶剂如二甲基亚硫酰胺(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等,溶解度较低于水
熔点:约150-160℃
分解温度:>230℃
储存条件:应存放在干燥、阴凉、避光环境中,避免温度过高,推荐储存温度不超过25℃
【应用领域】
光刻胶材料
作为一种光酸生成剂,双(4-叔丁基苯基)氯化碘盐能够在光照下释放强酸,促进光刻胶的化学反应,优化图案分辨率和分辨度。
(1)适用于先进半导体光刻胶配方,特别是用于KrF、ArF以及EUV光刻工艺。
(2)在高精度光刻过程中,提供优异的分辨率和图案清晰度,满足微小结构的制造需求。
半导体制造
在半导体制造过程中,该产品作为光刻胶的增感剂,能够有效提高曝光灵敏度和图案转移的精度。
(1)通过提高光刻胶的反应性,提升图案的精度和质量。
(2)在微米级及亚微米级的半导体工艺中,确保光刻过程中的细节精准无误。
电子材料与功能涂层
该化合物还可以作为功能性涂层的催化剂或助剂,改善电子元件的表面性能和热稳定性。
(1)在电子封装领域,增强材料的耐热性和抗氧化性,延长设备使用寿命。
(2)可用于电子器件的表面处理和功能化涂层,提供额外的光学稳定性和电气性能