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电子级 (4-叔丁基苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺

(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

产品编号 CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 纯度 外观
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英文名称 (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide
中文名称电子级 (4-叔丁基苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺
CAS号0-0-YH84017
产品编号YH84017
分子式C26H23F10NO4S3
分子量699.06

电子级(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺是一种专用于微电子和半导体制造领域的高纯化合物。它的锍基结构与全氟乙基磺酰基酰胺基团赋予其优异的化学稳定性、热稳定性以及电化学性能,是先进光刻胶配方和其他高端工艺的关键材料之一。

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[基本信息]

英文名称:(4-(tert-butyl)phenyl)diphenyl sulfonium bis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

中文名称:(4-叔丁基苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺

分子式:C26H23F10NO4S3

分子量:699.06 g/mol

纯度:≥99.9%,符合电子级材料要求,杂质含量极低。

溶解性:溶于极性有机溶剂如二氯甲烷、乙腈,不溶于水。

热稳定性:可耐受高达300°C的高温操作。

外观:白色至浅黄色结晶粉末。

 [应用领域]

光刻工艺
(1)作为光刻胶中的光敏组分,优化紫外和深紫外曝光的分辨率。
(2)增强显影过程的灵敏度和清晰度。

蚀刻工艺
(1)在干法蚀刻中用作精密调整的辅助试剂,提高加工精度。
(2)适用于复杂结构的微图形制造。

显示和新能源
(1)在显示器生产中,用于提升器件稳定性和显示性能。
(2)作为特殊添加剂,用于提高光伏电池和储能设备的转换效率和寿命。

该产品凭借其独特的化学特性和高纯度优势,成为半导体及微电子领域中关键的功能性材料,有助于推动先进制造技术的发展。


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