电子级 (4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸盐 1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸盐

电子级(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸盐是一种特殊用途的光敏化合物，结合了锍阳离子的高光化学活性和五氟丙烷磺酸根的优异化学稳定性。其高纯度和精细的分子设计，使其成为先进半导体制造中光刻胶和其他光敏材料的重要组成部分。

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[物理性质]

中文名称：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸盐1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸盐

英文名称：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate

分子式：C₂₅H₂₅F₅O₃S₂。

分子量：532.12 g/mol。

纯度：≥99.9%，电子级标准。

溶解性：

（1）溶于常见有机溶剂，如丙酮、乙腈等。

（2）对水不溶，具有疏水性。

热稳定性：耐受高达250°C的高温，无分解现象。

光敏性能：在深紫外光（DUV）和极紫外光（EUV）波长下具有高光活性。

[应用领域]

先进光刻胶技术

（1）作为光敏剂，提高DUV和EUV光刻胶的光解效率和显影性能。

（2）增强光刻工艺中的分辨率和图形精度。

半导体制造

（1）支持高精度微纳米器件的图形转移。

（2）适用于化学放大型光刻胶，在高复杂性芯片制造中发挥作用。

新材料研发

（1）用于开发高性能光敏薄膜材料。

（2）适用于光电材料及高端显示设备的精密制造。

优势

该产品结合了高纯度、热稳定性和优异的光敏性能，可显著提升光刻胶的性能表现，是满足半导体行业高精度制造需求的理想选择。