(4-cyclohexylphenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate

电子级全氟丁基磺酸-4-环己基苯基二苯基硫鎓盐是一种高纯度光敏化合物，广泛应用于半导体光刻胶材料和微电子制造。该化合物以其优异的化学稳定性和光响应性能满足先进工艺的严苛需求，适用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻技术。

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【物理性质】

基本信息

（1）分子式：C₂₈H₂₅F₉O₃S₂

（2）分子量：644.61 g/mol

外观与纯度

（1）外观：白色至浅黄色结晶粉末。

（2）纯度：≥99.5%（电子级）。

物理参数

（1）熔点：150–180°C。

（2）溶解性：易溶于乙腈、丙酮等极性有机溶剂。

（3）热稳定性：高温条件下不易分解。

（4）光化学活性：在深紫外光区域具有良好的光敏响应。

【应用领域】

半导体光刻工艺

（1）用作光刻胶中的阳离子光引发剂，增强光刻胶的化学放大效果。

（2）适用于深紫外和极紫外工艺中的高精度光刻应用。

电子封装材料

（1）在电子封装中用作抗蚀剂，提高绝缘性能与耐热性能。

（2）支持高密度集成电路（IC）封装的加工需求。

功能性涂层开发

（1）用于光学涂层材料，提升耐候性和光学透明度。

（2）在显示屏行业中用于生产低反射、高透光率的保护涂层。

【总结】

电子级全氟丁基磺酸-4-环己基苯基二苯基硫鎓盐因其高纯度和优异的光化学性能，是现代半导体制造与光刻技术的重要基础材料，为提升生产效率和精密度提供了保障。