Diphenyl 4-tertbutylphenylsulfonium nonafluorobutanesulfonate

电子级(4-叔丁基苯基)二苯基锍全氟丁磺酸盐是一种专为光刻胶配方优化设计的高效光酸生成剂，具备优异的热稳定性和光敏性。其独特的分子结构保证了在极端加工环境下的化学稳定性和反应效率，适用于先进制程中的深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻技术。该材料广泛应用于半导体制造和精密电子领域，有助于实现更高的图形分辨率和器件可靠性。

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【物理性质】

基本性质

（1）化学名称：(4-叔丁基苯基)二苯基锍全氟丁磺酸盐。

（2）分子式：C₂₆H₂₃F₉O₃S₂

（3）分子量：618.09 g/mol。

外观与溶解性

（1）外观：白色或浅黄色粉末。

（2）溶解性：易溶于极性有机溶剂，如甲醇、乙腈和二甲基亚砜（DMSO）。

热稳定性与纯度

（1）热分解温度：＞200℃，满足高温加工需求。

（2）纯度：≥99.9%，符合电子级材料的质量要求。

【应用领域】

光刻胶技术

（1）用作深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻胶中的光酸生成剂。

（2）提升光刻胶的感光效率和图形转移精度，支持先进制程。

半导体制造

（1）应用于高精度晶圆加工工艺，如先进逻辑芯片和存储器制造。

（2）优化5nm及以下节点技术的图形生成与分辨能力。

显示技术与光电子领域

（1）在显示面板制造中，用于提升微图形生成质量。

（2）应用于高端光电子器件的生产，提升可靠性与性能表现。