dimethyl(3-(9-oxo-9H-thioxanthen-2-yl)phenyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate

电子级二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸盐是一种高效光敏材料，具有优异的光化学性质和化学稳定性。该化合物广泛应用于高分辨率光刻胶以及其他电子化学品的制备，在先进半导体和微电子器件制造领域具有重要作用。

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【物理性质】

基本性质

化学名称：二甲基(3-(9-氧-9H-噻蒽-2-基)苯基)硫鎓三氟甲磺酸盐

分子式：C₂₂H₁₇F₃O₄S₃

分子量：498.02 g/mol

外观与溶解性

外观：黄色至浅橙色结晶粉末

溶解性：易溶于乙腈、二氯甲烷、甲醇等极性有机溶剂

热稳定性与储存条件

熔点：约120-130℃

储存条件：避光储存于0-10℃的干燥环境，防止受潮和氧化

【应用领域】

光刻胶配方

作为光敏剂和光产酸剂，在高分辨率光刻胶中发挥关键作用。

（1）增强光刻胶对紫外光和深紫外光的感光性能。

（2）提高微细图案的清晰度和边缘对比度。

半导体制造

在先进半导体和微电子器件的光刻工艺中表现出色。

（1）支持亚微米及纳米级别的高精度图案转移。

（2）满足尖端芯片制造对化学材料的严苛要求。

其他电子应用

用于光电材料和功能涂层的制备。

（1）改善光电设备的光学性能和稳定性。

（2）用于显示技术和传感器的关键材料层。