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Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)

ProductNum CAS No. MDL No. PubChem ID Formula MW Purity Appearance
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Product Name Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)
CAS153698-46-5
ProductNumYH84012
FormulaC24H15F5O3S2
MW510.04

电子级三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐 (1:1)(Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate)是一种重要的光酸生成剂,广泛应用于高端电子材料的制造中。该产品以其高纯度和出色的光敏性而著称,适用于电子级应用中的光刻胶和光刻工艺。作为一种光引发剂,它能够在特定波长的光照下分解产生酸,进而引发后续化学反应,是先进光刻技术中关键的化学品之一。特别是在半导体和微电子制造中,Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate(1:1)的应用能够有效提升工艺精度和产品质量。

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[物理性质]

化学名称:三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐

英文名称:Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)

分子式:C24H15F5O3S2

分子量:510.04

结构特点:该化合物由一个三苯基磺鎓阳离子和一个五氟苯磺酸阴离子组成,具有较高的电子亲和性和稳定性。

外观与状态:

外观:白色或淡黄色晶体粉末

熔点:110-120°C

溶解性:可溶于多种有机溶剂,如丙酮、二氯甲烷和甲醇,难溶于水。

纯度与稳定性:

纯度:≥99.5%(电子级)

稳定性:在室温条件下稳定,避免长时间暴露于强光和高温环境中,以防止光分解。

储存条件:建议在干燥、避光的环境中储存,并密封保存以防吸湿。

[应用领域]

光刻胶中的应用:

(1)作为光酸生成剂,三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)在光刻胶中用于生成酸性活性物质,从而促进光致反应,提高光刻胶的感光效率。

(2)该化合物在深紫外(DUV)和极紫外(EUV)光刻胶中表现出优异的光敏性,适用于高精度微电子器件的制造。

(3)由于其高纯度和低金属离子含量,能够有效减少光刻过程中杂质的引入,提高芯片的良率。

半导体制造中的应用:

(1)三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)作为光引发剂,广泛用于半导体器件的微细加工过程中,特别是在蚀刻和涂层工艺中。

(2)它可以在特定波长光照下分解产生强酸,有助于提高蚀刻精度,满足纳米级工艺要求。

(3)该产品在先进封装技术中也有应用,尤其是在高密度互连和三维集成电路制造中,能够提高工艺控制能力。

显示器制造中的应用:

(1)在显示器生产过程中,三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)用于光刻和涂布工艺,帮助实现高分辨率的显示效果。

(2)其优异的光敏性能使其适用于生产薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)和有机发光二极管显示器(OLED),显著提升图像质量和显示亮度。

(3)在柔性显示器制造中,该产品的高纯度和低污染特性有助于减少瑕疵,提高显示器的良率和寿命。

总结

电子级三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐 (1:1) 作为一种高效的光酸生成剂,凭借其优异的光敏性能和高纯度,已成为半导体和显示器制造领域的重要材料。在光刻胶、蚀刻和微细加工等应用中,该化合物能够显著提高工艺精度和产品质量,是现代电子制造工艺中不可或缺的核心化学品。


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86-571-82693216
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