Product Name | Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1) |
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CAS | 153698-46-5 |
ProductNum | YH84012 |
Formula | C24H15F5O3S2 |
MW | 510.04 |
Product Name | Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1) |
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CAS | 153698-46-5 |
ProductNum | YH84012 |
Formula | C24H15F5O3S2 |
MW | 510.04 |
电子级三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐 (1:1)(Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate)是一种重要的光酸生成剂,广泛应用于高端电子材料的制造中。该产品以其高纯度和出色的光敏性而著称,适用于电子级应用中的光刻胶和光刻工艺。作为一种光引发剂,它能够在特定波长的光照下分解产生酸,进而引发后续化学反应,是先进光刻技术中关键的化学品之一。特别是在半导体和微电子制造中,Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate(1:1)的应用能够有效提升工艺精度和产品质量。
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[物理性质]
化学名称:三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐
英文名称:Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)
分子式:C24H15F5O3S2
分子量:510.04
结构特点:该化合物由一个三苯基磺鎓阳离子和一个五氟苯磺酸阴离子组成,具有较高的电子亲和性和稳定性。
外观与状态:
外观:白色或淡黄色晶体粉末
熔点:110-120°C
溶解性:可溶于多种有机溶剂,如丙酮、二氯甲烷和甲醇,难溶于水。
纯度与稳定性:
纯度:≥99.5%(电子级)
稳定性:在室温条件下稳定,避免长时间暴露于强光和高温环境中,以防止光分解。
储存条件:建议在干燥、避光的环境中储存,并密封保存以防吸湿。
[应用领域]
光刻胶中的应用:
(1)作为光酸生成剂,三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)在光刻胶中用于生成酸性活性物质,从而促进光致反应,提高光刻胶的感光效率。
(2)该化合物在深紫外(DUV)和极紫外(EUV)光刻胶中表现出优异的光敏性,适用于高精度微电子器件的制造。
(3)由于其高纯度和低金属离子含量,能够有效减少光刻过程中杂质的引入,提高芯片的良率。
半导体制造中的应用:
(1)三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)作为光引发剂,广泛用于半导体器件的微细加工过程中,特别是在蚀刻和涂层工艺中。
(2)它可以在特定波长光照下分解产生强酸,有助于提高蚀刻精度,满足纳米级工艺要求。
(3)该产品在先进封装技术中也有应用,尤其是在高密度互连和三维集成电路制造中,能够提高工艺控制能力。
显示器制造中的应用:
(1)在显示器生产过程中,三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐(1:1)用于光刻和涂布工艺,帮助实现高分辨率的显示效果。
(2)其优异的光敏性能使其适用于生产薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)和有机发光二极管显示器(OLED),显著提升图像质量和显示亮度。
(3)在柔性显示器制造中,该产品的高纯度和低污染特性有助于减少瑕疵,提高显示器的良率和寿命。
总结
电子级三苯基磺鎓五氟苯磺酸盐 (1:1) 作为一种高效的光酸生成剂,凭借其优异的光敏性能和高纯度,已成为半导体和显示器制造领域的重要材料。在光刻胶、蚀刻和微细加工等应用中,该化合物能够显著提高工艺精度和产品质量,是现代电子制造工艺中不可或缺的核心化学品。