(4-TERT-BUTYLPHENYL)DIPHENYLSULFONIUM TRIFLATE

电子级(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲基磺酸酯是一种用于电子工业的功能性化学品，具有出色的光刻性能和热稳定性。它常用于半导体和微电子制造过程中，尤其在高精度光刻技术中作为光敏剂或催化剂，能够增强光刻胶的性能，提升图形分辨率。这种化合物适用于制造高端集成电路、微处理器和显示器等高精度电子器件，满足现代电子技术对材料的严苛要求。

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【基本信息】

中文名称：(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸盐

英文名称：(4-TERT-BUTYLPHENYL)DIPHENYLSULFONIUM TRIFLATE

化学式：C₂₃H₂₃F₃O₃S₂

分子量：468.1 g/mol

外观：白色或类白色固体粉末

熔点：约180°C

溶解性:

（1）易溶于有机溶剂，如乙腈、DMF等

（2）不溶于水

热稳定性：在高温条件下具有良好的热稳定性，可耐受高达200°C的加工环境

光学特性：能够有效吸收紫外光，在光刻过程中提高光反应效率

【应用领域】

半导体制造

（1）用于光刻胶配方中的光敏剂，帮助提高蚀刻分辨率，尤其适用于次纳米级图形制程

（2）在芯片制造中作为光刻反应催化剂，能够优化图形的边缘清晰度，提升蚀刻效果

集成电路生产

（1）适用于高精度集成电路的制造，能够提高器件的集成度和性能稳定性

（2）帮助减小电路中的杂散电容与电感，提高高速信号传输性能

显示器制造

（1）在OLED、LCD等先进显示器中用作功能材料，改善显示器的响应速度与色彩精度

（2）增强显示器件薄膜材料的耐热性与耐久性，延长使用寿命

电子级(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲基磺酸酯凭借其优异的光化学与热稳定性能，广泛应用于高端电子器件制造领域，尤其在先进光刻技术中具有重要的应用价值。