Triphenylsulfonium p-toluenesulfonate

电子级三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐是一种高纯度、有机硫化物盐类化合物，具有优异的光敏特性和化学稳定性，广泛应用于微电子制造领域。该产品在光刻胶和光敏材料中作为关键添加剂，可显著提高光敏性能和工艺稳定性，适用于先进半导体加工和显示器制造工艺。其电子级纯度保证了产品在高精度电子设备中的可靠性。

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【物理性质】

基本性质

（1）化学名称：三苯基硫鎓对甲苯磺酸盐

（2）分子式：C₂₅H₂₂O₃S₂

（3）分子量：434.57 g/mol。

外观与溶解性

（1）外观：白色至淡黄色晶体粉末。

（2）溶解性：易溶于常见极性溶剂，如甲醇、乙腈等。

热稳定性与纯度

（1）热稳定性：耐高温，分解温度高于200℃。

（2）纯度：≥99.5%，杂质含量极低，满足电子级工艺需求。

【应用领域】

光刻胶制造

（1）作为光敏剂用于正型和负型光刻胶，提高光刻胶的光解速率和分辨率。

（2）支持深紫外光（DUV）和极紫外光（EUV）技术的精密光刻工艺。

电子材料添加剂

（1）用于制造高性能光敏涂层和掩膜材料。

（2）在印刷电路板和显示器薄膜晶体管（TFT）工艺中优化性能表现。

其他高端应用

（1）适用于高分辨率显示器、柔性电子设备和光电传感器领域。

（2）在化学合成中作为光引发剂或催化剂，提高反应效率和选择性。