2,3,4,4'-Tetrahydroxybenzophenone 1,2-naphthoquinonediazido-5-sulfonate

电子级2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮 1,2-二叠氮基萘醌-5-磺酸酯是一种功能性光敏化合物，结合了多羟基二苯甲酮的紫外吸收性能与叠氮基的光反应特性，广泛应用于高端光刻胶和光敏材料中。其稳定的分子结构和优异的电子级纯度使其成为微电子领域关键的光敏添加剂。

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【物理性质】

基本性质

（1）化学名称：2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮 1,2-二叠氮基萘醌-5-磺酸酯。

（2）分子式：C₂₃H₁₆N₂O₉S

（3）分子量：496.45 g/mol

外观与溶解性

（1）外观：浅黄色至橙色粉末或结晶。

（2）溶解性：易溶于二甲基亚砜（DMSO）、甲醇等极性有机溶剂。

热稳定性与纯度

（1）热稳定性：分解温度高于180℃。

（2）纯度：≥99.5%，符合电子级质量要求。

【应用领域】

光刻胶制造

（1）作为光敏材料的关键成分，增强光刻胶对紫外光的响应速度。

（2）支持深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻工艺，满足高分辨率需求。

电子材料生产

（1）应用于光刻胶掩膜、光敏涂层等高性能电子材料中。

（2）提高微电子元器件的制造精度和光敏性能。

其他光敏应用

（1）用于高端显示器和柔性电子产品制造中的光敏技术。

（2）在光化学反应中作为光引发剂，提高反应效率与选择性。