(1,3-dioxoisoindolin-2-yl)methyl trifluoromethanesulfonate

电子级(1,3-二氧异吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯是一种高纯度的有机化学品，广泛应用于电子制造行业，特别是在半导体光刻胶和微电子领域中。其分子结构中的三氟甲磺酸基团具有强酸性，使得该化合物在光刻胶中能够作为高效的光酸生成剂，促进光刻反应的进行。这种化合物不仅具备优异的化学稳定性，还能在严格的电子级要求下，确保光刻胶的分辨率、敏感度和稳定性，满足现代半导体制造的需求。

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【基本信息】

中文名称：(1,3-二氧异吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯

英文名称：(1,3-dioxoisoindolin-2-yl)methyl trifluoromethanesulfonate

分子式：C₁₀H₆F₃NO₅S

分子量：308.99

外观：白色至微黄色固体

溶解性：易溶于极性有机溶剂，如二甲基亚硫酰胺（DMSO）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等，溶解度较低于水

熔点：约130℃（分解）

分解温度：＞250℃

储存条件：在干燥、阴凉的环境下存放，避免阳光直射，温度建议低于30℃

【应用领域】

光刻胶材料

作为一种光酸生成剂，(1,3-二氧异吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯能够在光刻胶中通过光照引发强酸的生成，优化光刻胶的性能。

（1）适用于先进的半导体光刻胶配方，特别是ArF（氟化氩）和EUV（极紫外）光刻技术。

（2）在高精度光刻过程中提供优异的分辨率和线条锐度，满足高端芯片制造需求。

半导体制造

该化合物广泛应用于半导体制造中的曝光工艺，能有效提高光刻胶的曝光反应和图案转移效率。

（1）作为光刻胶的增感剂，改善图案的清晰度和精度。

（2）提高微结构图案的对比度和分辨率，确保小尺寸器件的制造。

功能涂层与其他电子材料

除了在光刻胶中的应用外，该化合物也可用于电子封装和功能涂层材料中，作为催化剂和表面改性剂。

（1）在电子封装中，提供良好的热稳定性和化学耐受性。

（2）用于涂层中，增强材料的光学性能和耐腐蚀性，提升设备的使用寿命。