bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium ,pentafluoroethanesulfonate

电子级双(4-叔丁基苯基)碘盐五氟乙烷磺酸盐是一种专为半导体制造和光刻工艺设计的高纯度化学品。它作为一种光酸生成剂（PAG），在光刻胶中具有重要的应用，能够在紫外光照射下生成强酸，有效促进图案转移和细节精度提升。其分子结构中的碘盐和五氟乙烷磺酸基团使得该化合物在高精度微电子器件制造中发挥着至关重要的作用，特别是在先进的半导体芯片制造和微米级结构的精细加工中。

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【基本信息】

中文名称：双(4-叔丁基苯基)碘盐五氟乙烷磺酸盐

英文名称: bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium ,pentafluoroethanesulfonate

分子式：C₂₂H₂₆F₅IO₃S

分子量：592.06

外观：黄色至橙色固体

溶解性：易溶于有机溶剂如二甲基亚硫酰胺（DMSO）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等，溶解度较低于水

熔点：约135-145℃

分解温度：＞230℃

储存条件：应存放在干燥、阴凉、避光环境中，推荐储存温度不超过25℃，避免高温或潮湿环境。

【应用领域】

光刻胶材料

双(4-叔丁基苯基)碘盐五氟乙烷磺酸盐广泛应用于光刻胶配方中，作为一种光酸生成剂，能够在紫外光照射下释放强酸，促进图案转移过程，提升光刻胶的分辨率。

（1）适用于KrF、ArF及EUV光刻工艺，满足高端半导体制造中的需求。

（2）增强光刻胶的反应性，提供优异的分辨率和边缘锐度，确保微小结构的精准转印。

半导体制造

该化合物在半导体光刻工艺中作为增感剂，有助于提高光刻胶的曝光灵敏度和图案清晰度。

（1）在微米级及亚微米级的半导体工艺中，确保图案的高精度转移。

（2）通过优化光刻过程中的酸生成效率，提升生产过程中的良品率。

电子材料与功能涂层

双(4-叔丁基苯基)碘盐五氟乙烷磺酸盐可用于电子封装材料和功能涂层中，作为催化剂和表面改性剂，改善材料的耐热性和电气性能。

（1）在电子封装中提高材料的热稳定性和抗氧化性，延长器件使用寿命。

（2）作为涂层添加剂，提升光学稳定性、抗腐蚀性和电气特性。