triphenylsulfanium,4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium

电子级三苯基硫全氟丁烷磺酸盐是一种高纯度的有机硫化合物，具有出色的热稳定性和化学稳定性。该化合物由三苯基硫阳离子和全氟丁烷磺酸根阴离子组成，是一种强酸性光酸生成剂（PAG），主要应用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻工艺中。由于其优异的光化学反应性和低金属杂质含量，该产品特别适合用于高精度光刻胶和抗蚀剂的配方，能够显著提高图形分辨率和显影性能。

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【物理性质】

1.基本性质

分子式：C₂₂H₂₅NF₁₀S₃O₄

分子量：643 g/mol

外观：白色或浅黄色结晶粉末

纯度：≥99.5%

2.溶解性

易溶于极性有机溶剂，如乙腈、丙酮和二氯甲烷。

在水中溶解度较低，但在混合溶剂体系中表现出良好的溶解性。

3.热稳定性

热分解温度高（＞250°C），适用于高温条件下的光刻工艺。

需存储在干燥、阴凉环境，避免长时间暴露于空气和湿气中。

【应用领域】

1.光酸生成剂（PAG）

作为先进光刻胶的光酸生成剂，在深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻中表现优异，能够在曝光后释放强酸，从而提升显影效率和图形保真度。适用于高分辨率和高灵敏度的光刻胶配方，有助于实现精细图形结构。

2.抗蚀剂和光刻胶

用于高性能抗蚀剂和光刻胶的配方中，提升材料的光敏性能和耐化学蚀刻性能。在微电子加工中，提供卓越的显影性能和边缘分辨率，适用于先进的芯片制造。

3.电子材料添加剂

作为电子材料中的功能性添加剂，提升薄膜的机械强度和耐热性能。广泛应用于半导体器件、显示器和光电子器件的制造中，提高产品性能和稳定性。

电子级三苯基硫全氟丁烷磺酸盐凭借其高纯度和出色的光化学性能，成为现代光刻和电子材料领域的重要化学品，支持高精度和高可靠性的加工工艺。