(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

电子级(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺是一种专用于微电子和半导体制造领域的高纯化合物。它的锍基结构与全氟乙基磺酰基酰胺基团赋予其优异的化学稳定性、热稳定性以及电化学性能，是先进光刻胶配方和其他高端工艺的关键材料之一。

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[基本信息]

英文名称：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenyl sulfonium bis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

中文名称：(4-叔丁基苯基)二苯基锍双(全氟乙基磺酰基)酰胺

分子式：C₂₆H₂₃F₁₀NO₄S₃

分子量：699.06 g/mol

纯度：≥99.9%，符合电子级材料要求，杂质含量极低。

溶解性：溶于极性有机溶剂如二氯甲烷、乙腈，不溶于水。

热稳定性：可耐受高达300°C的高温操作。

外观：白色至浅黄色结晶粉末。

 [应用领域]

光刻工艺
（1）作为光刻胶中的光敏组分，优化紫外和深紫外曝光的分辨率。
（2）增强显影过程的灵敏度和清晰度。

蚀刻工艺
（1）在干法蚀刻中用作精密调整的辅助试剂，提高加工精度。
（2）适用于复杂结构的微图形制造。

显示和新能源
（1）在显示器生产中，用于提升器件稳定性和显示性能。
（2）作为特殊添加剂，用于提高光伏电池和储能设备的转换效率和寿命。

该产品凭借其独特的化学特性和高纯度优势，成为半导体及微电子领域中关键的功能性材料，有助于推动先进制造技术的发展。