(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate

电子级(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍五氟苯磺酸盐是一种高纯度、稳定的锍盐化合物。其独特的三芳基锍阳离子和强酸性五氟苯磺酸阴离子，使其具备优异的光敏和化学特性，特别适用于半导体制造中的光刻胶配方及其他高精度微加工应用。

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[基本信息]

中文名称：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸盐，2,3,4,5,6-五氟苯磺酸铵(1:1)

英文名称：(4-(tert-butyl)phenyl) diphenyl sulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate

分子式：C₂₈H₂₃F₅O₃S₂

分子量：566.1 g/mol。

外观：白色或浅黄色粉末或结晶体。

纯度：≥99.9%，符合电子级材料要求。

溶解性：
（1）溶于极性有机溶剂，如乙腈、二氯甲烷。
（2）不溶于水，表现出良好的溶剂选择性。

热稳定性：能够在300°C以下保持化学稳定性。

 [应用领域]

光刻胶行业
（1）作为光刻胶中的光敏剂，提高曝光分辨率。
（2）适用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻技术，满足纳米级图形制造需求。

微电子制造
（1）用于干法蚀刻和抗蚀剂技术，提升加工精度。
（2）支持复杂的微纳图形制造工艺。

高性能材料开发
（1）在功能性薄膜中提高材料的耐久性和稳定性。
（2）广泛应用于高端显示器和新能源设备的加工。

该产品凭借其高纯度与性能稳定性，已成为现代电子制造技术中的关键化学品，为提高器件的可靠性和制造效率提供了坚实保障。