(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,4,6-tris(1-methylethyl)benzenesulfonate(1:1)

电子级(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-三(1-甲基乙基)苯磺酸盐是一种高纯度锍盐化合物，结合了三芳基锍阳离子的优异光敏性和特殊苯磺酸盐的强酸稳定性。该产品具有出色的光敏性能和化学稳定性，广泛用于高端半导体和微电子制造中的光刻胶及相关领域。

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[基本信息]

中文名称：(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 2,4,6-三(1-甲基乙基)苯磺酸盐 (1:1)

英文名称：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,4,6-tris(1-methylethyl)benzenesulfonate(1:1)

分子式：C₃₇H₄₆O₃S₂

分子量：602.29 g/mol

外观：浅黄色至白色粉末或晶体。

纯度：≥99.9%，符合电子级标准。

溶解性：
（1）溶于极性有机溶剂，如乙腈、二氯甲烷。
（2）对水不溶，表现出较高的疏水性。

热稳定性：在高温条件下（最高250-300°C）仍能保持化学稳定性。

光敏特性：在紫外光激发下表现出优异的反应性能。

[应用领域]

光刻胶配方
（1）用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻技术，提高分辨率和显影对比度。
（2）提升光刻胶的曝光灵敏度，满足纳米级微图形制造需求。

微电子与半导体制造
（1）应用于干法蚀刻技术，支持高精度微纳加工。
（2）作为化学放大光刻胶的重要光敏剂，提高光刻工艺效率。

高性能材料研发
（1）用于制备具有耐高温和抗化学腐蚀的功能薄膜。
（2）支持高端显示设备、新能源器件及微电子封装的精密制造。

优势
本产品凭借其优异的光敏性能、高纯度及热化学稳定性，为半导体制造工艺提供关键支持，适用于苛刻环境下的高精度制造需求。